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設(shè)備：外延片少子壽命測(cè)試儀WT-2000 Wafer Test System
廠商：匈牙利 SEMILAB
用途：1.厚外延少子壽命測(cè)試2.SiC電阻率測(cè)試
技術(shù)指標(biāo)：少子壽命測(cè)試要求外延厚度>30um；規(guī)則樣品寬度>10mm 可以點(diǎn)測(cè)或連續(xù)面測(cè)
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